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超純水:芯片行業(yè)的純度之戰(zhàn)

2026-01-26 10:43:17

來源: 成都壹科醫(yī)療

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超純水:芯片行業(yè)的純度之戰(zhàn)


? ? ? ?超純水的嚴苛程度超乎想象,90nm制程要經歷90次清洗,到65nm制程就增至130次左右,每一次都離不開絕對純凈的水源。很難想象有些生產線,每片晶圓耗水數噸,其中超純水占比超九成。


? ? ? ?要達到這種純度,自來水得闖過十幾道關。多介質過濾先篩掉泥沙,活性炭吸附余氯,軟化器去除鈣鎂離子防結垢,這三步預處理是基礎。核心在反滲透系統(tǒng),兩級RO膜能除掉98% 以上的離子,優(yōu)普純水設備能把水提純,加上紫外線分解有機物,拋光混床把離子降到痕量級,最后用超濾收尾,產出負責芯片半導體要求的純水。


? ? ? ?如今超純水技術正朝綠色化邁進,EDI模塊耗電量比傳統(tǒng)設備降低 40%,濃水回用率能到75%,在芯片自主可控的浪潮中,這股“純凈力量”不僅破解了水資源瓶頸,更在高端制造的賽道上筑牢了根基。


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